Mitutoyo成像（鏡筒）透鏡

Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡

 成像(鏡筒)透鏡

Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡
MT

 MT-1,2,40 ：可見區(435.8～656.3nm)
MT-L ：近紫外區(355nm)到近紅外區(1064nm)
MT-L4 ：紫外區(266nm)到可見區(620nm)

 VMU、WIDE VMU、FS70采用了使用物鏡和成像(鏡筒)透鏡進行成像的無限遠校正光學系統。物鏡與成
像鏡頭之間的光通量為平行光線，能減少反射照明用半反射鏡產生的重影、棱鏡、濾光片等的像位變化。
使用本公司制造的物鏡設計光學系統時，請使用上述成像(鏡筒)透鏡

FS-70 系列
378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡單元

 • 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金
屬表面、半導體、液晶基板、樹脂等。
• 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業器械的
OEM (原廠委制) 產品，如那些利用YAG (近紅
外、可見、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶
片進行檢測和修補的設備。
* 不保證激光系統產品的性能和安全性。
• 應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做
標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色
濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學觀
察剖面圖以便探針分析半導體故障。
• 可用于紅外光學系統*。
應用：晶體硅的內部觀察；紅外光譜特征
分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微
分干涉對比(DIC) 的型號(產品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學
系統上的標準配件。
• 內傾轉塔和超長工作距離的物鏡確保了顯
微鏡下的高可操作性

 型號FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
型號FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
聚焦調節使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實現50mm行程范圍
圖像正像
物鏡筒鏡西登托夫型, 調節范圍: 51 - 76mm
視場數24mm
俯角— 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透過率
固定(目
鏡/TV＝
50%/50%)
可調型(目
鏡/管徑＝
100%/0%：
0%/100%)
固定(目
鏡/TV＝
50%/50%)
可調型(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
防護濾光片— 內置激光濾光片
管徑鏡頭1X 1X - 2X 放大1X
適用激光— 1064/532/355nm 532/266nm
相機安裝端口C-mount (適用適配器B選件*1) 使用帶TV接口的激光C-mount開關
(帶綠色濾光片轉換開關)
照明系統(選件) 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
12V100W亮視場反射照明、無極亮度調節、光纖長度
物鏡 (用于觀察) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡
(用于激光切割) — M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV M Plan UV
載重 *2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主機) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
*1：可選安裝。
*2：鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量

 Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡

Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡