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HORIBA堀場電導率儀HE-480C-GC

更新時間:2024-07-30

簡要描述:

HORIBA堀場電導率儀HE-480C-GC
總覽
隨著器件的發展,在半導體制造工藝的濕法工藝中使用的化學物質類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學性的傳感器來測量化學物質的電導率,是處理過程中的濃度控制,化學物質稀釋控制和超純水循環監控的理想選擇。

特征
優異的耐化學性和耐壓性能
通過采用具有高耐壓和高耐化學性的特殊電極,它是化學處理后測量DIW Rince的電導率值以及在循

型號:廠商性質:經銷商瀏覽量:1098
品牌其他品牌最小分辨率1μs/cm
精確度1FS溫度測量范圍 0~100℃℃
鹽度測量范圍1ppt電阻率測量范圍1MΩ·cm
TDS測量范圍1g/l電導率測量范圍1mS/cm
價格區間1萬-2萬檢測參數多參數
儀器種類臺式應用領域環保

HORIBA堀場電導率儀HE-480C-GC

 碳傳感器電導率儀低濃度HE-480C-GC型

 總覽
隨著器件的發展,在半導體制造工藝的濕法工藝中使用的化學物質類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學性的傳感器來測量化學物質的電導率,非常適合在處理過程中進行濃度控制,化學物質稀釋控制和超純水循環監控。

特征
優異的耐化學性和耐壓性能
通過采用具有高耐壓和高耐化學性的特殊電極,非常適合化學處理后測量DIW Rince的電導率值以及在循環管線中進行測量。
無金屬污染
因為特殊的碳被用作電極材料,所以沒有洗脫金屬污染物的風險。
溫度測量/顯示功能
使用溫度補償元件Pt1000Ω??梢赃M行溫度測量和顯示。
同時顯示測量值和參數設置
您還可以在進行設置和調用設置值時檢查測量值。
內置豐富的溫度補償功能
您可以選擇超純水的溫度特性(參考溫度25°C),NaCl溫度特性以及參考溫度和溫度補償系數的可選設置,因此可以根據所測溶液進行溫度補償。
帶有圖標和安全功能的增強狀態顯示
用圖標顯示儀器的狀態。易于理解的顯示可防止操作錯誤。此外,通過設置安全代碼,所有按鍵操作均被鎖定,以防止由于故障而導致測量錯誤

 

 

仕様

指示変換器

形式

HE-480C-GC

測定方式

2電極方式

センサ入力

1チャンネル

溫度センサ仕様

白金抵抗體1000Ω/0℃

繰り返し性

※1 ±0.5%フルスケール以內 
※2 ±1.0%フルスケール以內 
※3 ±1.5%フルスケール以內
(等価入力にて)

直 線 性

※1 ±0.5%フルスケール以內 
※2 ±1.0%フルスケール以內 
※3 ±1.5%フルスケール以內 
(等価入力にて) 
 

伝送出力

出力點數:1點 
DC4~20mA  入出力絶縁形  大負荷抵抗:900Ω 
伝送出力レンジ: 測定範囲內で任意設定可

接點出力

出力點數:2點 
警報接點出力(R1、R2) 
 接點形態:リレー接點 SPDT(1c) 
 接點容量:AC240V 3A、DC 30V 3A(抵抗負荷) 
 接點機能:上、下限動作(ON/OFF制御)、USP判定、異常警報、 
 保守中より選択設定

校正機能

導電率:セル定數の補正係數入力による(パラメータ入力) 
溫 度:基準溫度計との比較校正 
T D S:任意係數(0.30~1.00)による換算

ホールド機能

直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定
(ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります)

自己診斷機能

  • センサ診斷(溫度センサ短絡、溫度センサ斷線)
  • 測定範囲外
  • A/Dコンバータスケールオーバー
  • 変換器異常

溫度補償

  • 超純水の溫度特性(基準溫度25℃)
  • NaClの溫度特性
  • 基準溫度と溫度係數任意設定(基準溫度:5~95℃ 溫度係數:±5%/℃)

溫度補償範囲

0~100℃

周囲使用溫濕度

溫度:-5~45℃、濕度:20~85%(結露しないこと)

電源

AC100~240V ±10%  50/60Hz  10VA(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部:IP00(パネル取付屋內設置型)

質量

約400g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

組合せセンサ

ESHシリーズ導電率GCセンサ

 

センサ

形式

ESH-01-L-GC5-Y-10M

ESH-1-L-GC9-Y-10M

セル定數

(約0.1/cm)

(約1/cm)

接液材質

極部

GC(ガラスカーボン)

ボディ部

PFA

パッキン

カルレッツ®

試料水條件

溫度:0~80℃、 圧力:0~0.5MPa

ケーブル長

10m、Y端子(標準)※4

取付

ねじ込み口徑:R(PT)3/4

組合せホルダ

流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5

※4ケーブル長、端末処理形狀については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P(PVDF)またはEFA-30F(PFA)をご使用ください。

 

 

 

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