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18511227625更新時間：2024-08-01
M-342DG真空計canon-anelva電容計 M-342DG（真空計）キャパシタンスゲージ M-342DG
| 品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-342DG |
|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
| 主要用途 | 真空計 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子/電池,電氣 |
| 滿量程壓力 | 13.33 |
M-342DG真空計canon-anelva
M-342DG真空計canon-anelva
電容計 M-342DG（真空計） 電容計 M-342DG
電容式壓力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器，將溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響降至，從而實現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的壓力測量。達到最小調(diào)零頻率
特征 高精度和穩(wěn)定的壓力測量 ? 優(yōu)異的零點穩(wěn)定性 ? 低溫度依賴性和出色的穩(wěn)定性，無需溫度控制機制 ? 優(yōu)異的抗振噪音性能 緊湊和低功耗 -重量為 200 克，尺寸為 W46 毫米 x H49 毫米 x L106 毫米 (* 1) ? 功耗 0.5W * 1 質(zhì)量和尺寸適用于接頭 NW16 規(guī)格。 用 支持各種高精度、長期穩(wěn)定的真空壓力測量 各種真空器件，如半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池等。 ? 真空成膜過程壓力控制和監(jiān)測，如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工序、系統(tǒng)壓力控制 醫(yī)療、生物科技、食品等行業(yè)，以及各種研發(fā)應(yīng)用 各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評價、分子蒸餾等
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23℃) | ||||
| ゼロ點溫度係數(shù)（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| スパン溫度係數(shù)（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
| 実用制御下限圧力（％ of Full-scale） | 0.5 | ||||
| 応答速度（ms） | 100 | 30 | |||
| 加圧上限 | 200kPa(但しNW16、NW25のものは內(nèi)部が陽圧にならないこと) *13.33Pa仕様は130kPa | ||||
| 電源電圧（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 消費電力（W） | 0.5 | ||||
| アナログ出力（VDC） | 0～10 | ||||
| 使用溫度/保管溫度（℃） | 0～50/-20～70(非動作時) | ||||
| 最大ケーブル長（m） | 100(専用ケーブル) | ||||
| ゼロ點調(diào)整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
| 接ガス部材質(zhì) | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
| フランジ?形狀と質(zhì)量 | NW16(200ｇ)、NW25(210ｇ)、8-VCR メス(250ｇ)、φ70ICF(460ｇ) | ||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | ||||
| 安全保障貿(mào)易管理規(guī)制 | 非該當 | ||||
| 対応表示器 | M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) | ||||
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