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          日本canon-anelva真空計(jì)M-351PG

          更新時(shí)間:2024-08-01

          簡(jiǎn)要描述:

          日本canon-anelva真空計(jì)M-351PG
          ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG(真空計(jì))
          ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG

          型號(hào):廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商瀏覽量:1116
          品牌其他品牌貨號(hào)M-351PG
          規(guī)格1供貨周期一個(gè)月以上
          主要用途真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子/電池,電氣
          精度(Pa)±50%:5×10-2 ~ 1×10-1

          日本canon-anelva真空計(jì)M-351PG

          日本canon-anelva真空計(jì)M-351PG

          ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG(真空計(jì))

          ピラニゲージ(耐蝕型)  M-351PG

           該機(jī)型采用鎳絲提高耐腐蝕性能,兼容RIE、CVD等硬工藝設(shè)備

           特征 提高耐腐蝕性 采用鎳絲等 重現(xiàn)性好,價(jià)格低廉 大氣壓從 5 × 10-2 Pa 用 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備 干蝕刻設(shè)備、等離子CVD設(shè)備、LD-CVD設(shè)備等。 食品/醫(yī)藥制造設(shè)備 真空冷凍干燥、真空蒸餾設(shè)備、殺菌設(shè)備等

           

          仕様

          型 名M-351PG-SP
          (Niフィラメント仕様)(セットポイント付タイプ)
          測(cè)定圧力範(fàn)囲5×10-2~1×105(Pa)
          精度(Pa)±50%:5×10-2 ~ 1×10-1
          ±15%:1×10-1 ~ 1×104
          ±50%:1×104 ~ 1×105
          再現(xiàn)性±2% : 1×10-1 ~ 1×104Pa
          入力電圧DC+14~30V
          消費(fèi)電力2W
          アナログ出力0~10V
          ゲージ認(rèn)識(shí)抵抗値13KΩ(D-sub5-9番ピン間)
          セットポイント2接點(diǎn)出力(1A30V,DC)
          インターフェース
          入出力コネクタD‐sub9ピン
          最大ケーブル長(zhǎng)200m(0.34mm2)対応可能*1
          使用溫度範(fàn)囲5~60℃
          保存溫度範(fàn)囲-20~70℃(非動(dòng)作時(shí))
          ベーキング溫度<+150℃(Oリング仕様、ゲージヘッドのみ)
          <+300℃(メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ)
          許容過(guò)負(fù)荷圧力1MPa(継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧)
          適合ピラニセンサ型名MP-2
          フランジ形狀NW16、NW25、1/8NPT
          センサー材質(zhì)(主要部)ピラニフィラメント:ニッケル
          センサーチューブ:ステンレス
          導(dǎo)入端子絶縁部:コバールガラス+Al2O3コート
          対応CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

          *1)M-601/603GC表示器を接続する場(chǎng)合はゲージケーブルの最大長(zhǎng)は100mとなります。

           

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