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18511227625更新時間：2024-08-01
日本canon-anelva真空計M-351PGピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG
| 品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-351PG |
|---|---|---|---|
| 規格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
| 主要用途 | 真空計 | 應用領域 | 環保,電子,電氣 |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 |
日本canon-anelva真空計M-351PG
日本canon-anelva真空計M-351PG
該機型采用鎳絲提高耐腐蝕性能，兼容RIE、CVD等硬工藝設備
特征 提高耐腐蝕性 采用鎳絲等 重現性好，價格低廉 大氣壓從 5 × 10-2 Pa 用 半導體和電子器件制造設備 干蝕刻設備、等離子CVD設備、LD-CVD設備等。 食品/醫藥制造設備 真空冷凍干燥、真空蒸餾設備、殺菌設備等
| 型 名 | M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 5×10-2～1×105（Pa） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 |
| 再現性 | ±2％ ： 1×10-1 ～ 1×104Pa |
| 入力電圧 | DC+14～30V |
| 消費電力 | 2W |
| アナログ出力 | 0～10V |
| ゲージ認識抵抗値 | 13KΩ（D-sub5-9番ピン間） |
| セットポイント | 2接點出力（1A30V,DC） |
| インターフェース | － |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン |
| 最大ケーブル長 | 200ｍ（0.34mm2）対応可能＊1 |
| 使用溫度範囲 | 5～60℃ |
| 保存溫度範囲 | -20～70℃（非動作時） |
| ベーキング溫度 | ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ） |
| 許容過負荷圧力 | 1MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） |
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-2 |
| フランジ形狀 | NW16、NW25、1/8NPT |
| センサー材質（主要部） | ピラニフィラメント：ニッケル センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート |
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 |
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。
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